دستگاهی برای پوشش دهی TiN بر روی فولاد به روش PACVD عرضه شد

به گزارش گروه فناوری خبرگزاری دانشجو، شرکت پلاسما پژوه پارس دستگاه لایه نشانی شیمیایی بخار به کمک پلاسما را به بازار عرضه کرده که با استفاده از آن می توان نانوپوشش هایی از جنس TiN را روی فولاد لایه نشانی کرد.

- شرکت پلاسما پژوه پارس دستگاه لایه نشانی شیمیایی بخار به کمک پلاسما را به بازار عرضه کرده که با استفاده از آن می توان نانوپوشش هایی از جنس TiN را روی فولاد لایه نشانی کرد.

به گزارش گروه فناوری خبرگزاری دانشجو، شرکت پلاسما پژوه پارس دستگاه لایه نشانی شیمیایی بخار به کمک پلاسما را به بازار عرضه کرده که با استفاده از آن می توان نانوپوشش هایی از جنس TiN را روی فولاد لایه نشانی کرد.

لایه نشانی شیمیایی از فاز بخار به کمک پلاسما (PECVD) یک نوع ویژه ای از روش لایه نشانی شیمیایی از فاز بخار است که در آن به کمک پلاسما همه واکنش های CVD تحت تاثیر قرار می گیرد و قادر می سازد که واکنش ها را به صورت موثرتری در دما های پایین انجام دهد.

استفاده از پلاسما دمای انجام واکنش های CVD را تا مقادیر بین 200 تا 400 درجه سانتیگراد کاهش می دهد، در حالی که دمای کاری روش های پیشین CVD، در حدود رنج دمایی 425 تا 900 درجه سانتیگراد است.

استفاده از پلاسما دامنه گسترش روش های CVD را به قدری گسترش می دهد که پوشش دهی بیشتر مواد هادی و غیرهادی بوسیله آن امکان پذیر می شود.