ساخت میکروسکوپی برای تعیین ضخامت لایه های نانومتری در کشور

یکی از شرکت های دانش بنیان مستقر در پارک علم و فناوری دانشگاه شریف موفق به ارائه میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) با قدرت تفکیک 20 نانومتر شده است و برای مطالعه مورفولوژی و ترکیب شیمیایی سطح و تعیین ضخامت لایه های نازک پوشش دهی شده روی یک زیرلایه کاربرد دارد.

- یکی از شرکت های دانش بنیان مستقر در پارک علم و فناوری دانشگاه شریف موفق به ارائه میکروسکوپ الکترونی روبشی (SEM) با قدرت تفکیک 20 نانومتر شده است و برای مطالعه مورفولوژی و ترکیب شیمیایی سطح و تعیین ضخامت لایه های نازک پوشش دهی شده روی یک زیرلایه کاربرد دارد.

به گزارش ایسنا، میکروسکوپ های الکترونی روبشی از جمله تجهیزات مهم مورد استفاده در فناوری نانو هستند که فناوری ساخت آنها در اختیار تعداد محدودی از کشورها است.

میکروسکوپ های الکترونی یکی از مهمترین ابزارهای آنالیز مواد در مقیاس نانو هستند که معمولا برای بررسی ابعاد، مورفولوژی و ساختار مواد نانو مقیاس (نانوذرات، نانوالیاف و نانولوله ها) از میکروسکوپ الکترونی روبشی استفاده می شود.

یکی از شرکت های دانش بنیان اقدام به ارائه فناوری ساخت این نوع میکروسکوپ ها در داخل کشور کرد و میکروسکوپ SEM این شرکت بزرگنمایی 100 هزار برابری داشته و در آن از تفنگ الکترونی کاتد حرارتی تنگستنی استفاده شده و ولتاژ شتابدهی این SEM بین 1 تا 30 کیلو